역사

1963년5월

주식회사 히타치제작소 반도체사업부의 후속공정그룹회사인 주식회사 청매전자공업소 설립

1963년10월

게르마트랜지스터용스템 생산개시

1965년11월

사원 식당 개설이 높은 평가를 받아
동경도지사 복지증진 협력 감사장 수상

1969년8월

회사명을 주식회사 히타치청매전자공업소로 변경

1973년11월

파워 IC생산 개시

1977년6월

반도체장치제작부문인 프레시젼센터 발족.

1977년8월

파워 IC 신제품(신SIL) 생산 개시

1978년2월

회사명 히타치 청매 전자주식회사로 변경

1979년4월

반도체 제조장치의 개발, 제조 및 보전업무의 개시

1979년11월

고속전자동 와이어본더(AUTAS)생산개시

1981년8월

하무라 공장설립(도쿄도 하무라시)

1985년4월

회사명 히타치도쿄엘렉트로닉스 주식회사로 변경

1985년12월

초정밀 가스분석장치(대기압 이온화질량분석장치)가 쇼와 60년 (1985년) 일간 공업신문"10대 신제품상"을 수상

1989년4월

펠릿본더PB시리즈생산개시

1991년5월

야마나시공장 조업개시

1991년5월

고속·고정밀도 LOC 마운터 LM시리즈 생산개시

1991년5월

범용제품용 다이본더DB시리즈 생산개시

1992년

D램 전용 다이본더CM시리즈 생산개시

1996년9월

ISO9001인증취득

1998년7월

ISO14001인증취득

1999년2월

다카사키장치부문을 야마나시공장에 집약

2000년12월

세계 최초 300mm대응 장치 DB530 릴리스

2002년4월

주식회사 동일본 세미컨덕터테크놀로지 신설
비고: 히타치동부세미컨덕터 주식회사와 히타치북해세미컨덕터 주식회사 사가미공장과 합병.

2003년10월

회사명 주식회사 르네사스동일본세미컨덕터로 변경

2004년3월

영업부문을 야마나시공장에 집약

2005년

다이본더 장치
세계 NO.1매출 달성

2010년4월

주식회사 르네사스동일본세미컨덕터 장치사업부문을 주식회사 히타치하이테크 인스트루먼트로 통합

2010년12월

정부로부터 소행성 "이토카와"의 탐사선 "하야부사"의 개발에 참가한 연구기관·기업이 표창받았을 당시, 수집한 샘플 분석용 플랜트에 당사의 장치가 포함되어 히타치그룹의 표창에 공헌.

2011년

VLSI로부터 CS Award 수상

2015년3월

주식회사 히타치 하이테크인스트루먼츠의 본딩장치사업부문이 분사,파스포드테크놀로지 주식회사를 신설.

2015년4월

파스포드테크놀로지주식회사로 독립

2016년10월

고속·고성능·자동화 대응 다이본더 DD시리즈 생산개시

2017년11월

야마나시 산업대상 제조대상부문 대상 수상

2018년8월

주식회사 FUJI그룹 편입

2019년11월

신사옥 준공

2020년6월

300mm대응장치 5000대 출하달성