歴史

1963年
5月
株式会社日立製作所半導体事業部の後工程グループ会社として
株式会社青梅電子工業所設立
1969年
8月
社名を株式会社日立青梅電子工業所に変更
1977年
6月
半導体装置製作部門であるプレシジョンセンタ発足
1978年
2月
社名を日立青梅電子株式会社に変更
1979年
4月
半導体製造装置の開発、製造、および、保全業務開始
1981年
8月
羽村工場設立(東京都青梅地区)
1985年
4月
社名を日立東京エレクトロニクス株式会社に変更
1985年
12月
大気圧イオン化質量分析装置が日刊工業新聞賞受賞
1991年
5月
山梨工場操業開始
1996年
9月
ISO9001認証取得
1998年
7月
ISO14001認証取得
1999年
2月
高崎装置部門を山梨工場に集約
2000年
12月
世界初300mm対応装置DB530販売開始
2002年
4月
株式会社東日本セミコンダクタテクノロジーズ新設
備考: 日立東部セミコンダクタ株式会社と日立北海セミコンダクタ株式会社相模工場と合併
2003年
10月
社名を株式会社ルネサス東日本セミコンダクタに変更
2004年
3月
営業部門を山梨工場に集約
2005年
ダイボンダシェア世界NO.1
2006年
ダイボンダシェア世界NO.1
2007年
ダイボンダシェア世界NO.1
2010年
4月
株式会社ルネサス東日本セミコンダクタの装置事業部門が株式会社日立ハイテクインスツルメンツに統合
12月
小惑星「イトカワ」の探査機「はやぶさ」の開発に参画した研究機関・企業に政府から表彰された際、持ち帰ったサンプル分析に当社装置もプラントに組み込まれ、日立グループの表彰に貢献
2015年
3月16日
株式会社日立ハイテクインスツルメンツのボンディング装置事業部門が分社しファスフォードテクノロジ株式会社を新設
4月1日
ファスフォードテクノロジ株式会社として独立
9月30日
株式会社TYホールディングスと合併 資本金を4億5千万円に変更
2017年
3月31日
資本金を1億円に変更